技术负责人：朱樟明，钟龙杰

技术联系人：钟龙杰  联系电话：17312147315  邮箱：ljzhong@xidian.edu.cn

关键词：MEMS电容式加速度计，小尺寸，低噪声，高能效，骨传导

项目概况：

（一）项目背景

本项目针对小尺寸加速度计噪声高、能效低等核心难题，依托高压脉冲激励(HVPE)协同降噪技术开展攻关，旨在突破小尺寸加速度计噪声与能效限制，满足骨传导语音增强应用对于尺寸、噪声与功耗的苛刻需求，对突破可穿戴产品性能具有重大战略意义。

（二）项目简介

   小尺寸低噪声高能效MEMS电容式加速度计聚焦小尺寸加速度计中噪声高，能效低难题，通过高压脉冲激励(HVPE)读出技术，实现了：

   1）X/Y/Z三轴尺寸<2mm2，噪声32.5μg/√Hz，带宽2kHz，功耗120μA；

   2）X/Y双轴尺寸<2mm2，噪声15μg/√Hz，带宽2kHz，功耗140μA；

   已在骨传导语音增强应用中完成测试，有效解决了小尺寸加速度计中噪声高，能效低难题，为消费级可穿戴设备应用提供了低成本、高能效的技术支撑与解决方案，具有经济效益与社会价值。

（三）关键技术与创新点

本项目采用高压脉冲激励(HVPE)读出技术，围绕小尺寸加速度计展开技术攻关，重点突破传统加速度计尺寸、噪声与功耗相互制约瓶颈，以下是本项目涉及的关键技术：

1、关键技术一：高压脉冲激励(HVPE)读出技术

2、关键技术二：共模电容矫正技术

3、关键技术三：高压电平矫正技术

4、关键技术四：摆率矫正技术

本项目创新点包括：

1、首次提出高压脉冲激励(HVPE)协同降噪技术，构建了高可靠的HVPE脉冲矫正电路，突破小尺寸加速度计的机电混合噪声瓶颈。

2、首次提出基于弱反馈逐次逼近过采样技术的脉冲信号低压读出电路，通过协同能效提升，突破小尺寸加速度计的系统能效瓶颈。

技术成果清单：

技术成熟度：

   概念验证   原理样机   工程样机  中试  产业化

合作方式：

   联合研发  技术入股  转让  授权（许可）  面议