技术负责人：朱樟明，钟龙杰
技术联系人：钟龙杰 联系电话：17312147315 邮箱：ljzhong@xidian.edu.cn
关键词：MEMS电容式加速度计，高精度，抗振动， 惯性导航
项目概况：
（一）项目背景
本项目针对三轴加速度计低噪声、抗振动等核心需求，依托高压正交斩波激励(HVOE)协同降噪技术开展攻关，旨在突破三轴加速度计噪声-线性量程限制，满足无人机应用对于噪声与振动整流误差的苛刻需求，对突破无人机产品性能具有重大战略意义。
（二）项目简介
高精度抗振动MEMS电容式加速度计聚焦三轴加速度计中振动整流误差高，噪声高难题，通过高压正交斩波激励(HVOE)读出技术，实现了：
噪声22μg/√Hz，振动整流误差1.6mg/g2，偏置不稳定性5μg；
有效解决了三轴加速度计中振动整流误差高、噪声高难题，为无人机应用提供了高精度、抗振动的技术支撑与解决方案，具有经济效益与社会价值。
（三）关键技术与创新点
本项目采用高压正交斩波激励(HVOE)读出技术，围绕三轴加速度计展开技术攻关，重点突破传统加速度计噪声与线性量程相互制约瓶颈，以下是本项目涉及的关键技术：
1、关键技术一：高压正交斩波激励(HVOE)读出技术
2、关键技术二：自屏蔽技术
3、关键技术三：动态相位补偿技术
4、关键技术四：信号融合技术
本项目创新点包括：
首次提出高压正交斩波激励(HVOE)协同降噪技术，打破三轴加速度计噪声-线性量程约束。
技术成果清单：
序号 | 成果类型 | 具体内容 |
1 | 知识产权 | 一种MEMS加速度计的抗振动信号融合方法及系统 （CN120610028A） |
技术成熟度：
概念验证 原理样机 工程样机 中试 产业化
合作方式：
联合研发 技术入股 转让 授权（许可） 面议
